（原标题：华海清科(688120.SH)：自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生坐褥）

格隆汇12月23日丨华海清科(688120.SH)在互动平台暗示，公司CMP装备包含清洗模块，清洗时候均为公司自主研发，基于公司在此鸿沟的时候积淀和集成电路客户需求，公司积极开展清洗装备的研发职责，主要面向材料端的末端清洗商场需求。公司自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生坐褥，诈欺于4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗装备和12英寸单片末端清洗机已杀青首台验收，清洗家具发达凯旋。